Китай готовит замену литографам ASML

Первые китайские установки для иммерсионной литографии могли уже добраться до фабрик. По данным DigiTimes, компания Aishengna передала производителям чипов пять машин для испытаний. Это может стать важным этапом для китайской полупроводниковой отрасли: литография остаётся одним из главных участков производства чипов, где Китай сильно зависит от зарубежного оборудования, прежде всего голландской ASML – ключевого поставщика литографических машин для всей мировой отрасли.

Пока установки рассчитаны на выпуск 28-нанометровых чипов. Но сама иммерсионная литография позволяет делать и более сложные микросхемы. Правда, независимого подтверждения поставок нет: ранее Reuters сообщал только о начале производства и планах поставить такие машины SMIC, Hua Hong и CXMT в течение 2026 года, а DigiTimes теперь утверждает, что первые пять установок уже переданы на фабрики для испытаний. Если это правда, фабрикам предстоит проверить, насколько оборудование точно, быстро и стабильно работает на реальном производстве и какой процент пригодных чипов удастся получать.

Китай вкладывает в эту задачу немалые деньги, причём не первый год – ещё в 2024 году власти запустили третью фазу фонда поддержки полупроводниковой отрасли объёмом 344 миллиарда юаней. Параллельно китайские производители учатся обходиться без самых современных западных технологий. SMIC уже выпускает 7-нанометровые чипы на более старом зарубежном DUV-оборудовании, усложняя сам процесс производства. Собственная иммерсионная установка могла бы закрыть ещё одно слабое место этой цепочки, хотя возможности машин Aishengna на 7 нм пока не показаны публично.